【投票】电子束控制精度会受到EMC电磁干扰影响吗？

曾工

电子束系统广泛应用于扫描电子显微镜（SEM）、电子束光刻（EBL）、**电子束诱导电流成像（EBIC）**等高精度设备，其控制精度高度依赖电压、电流和磁场的稳定性。

Electron beam deflector

但在复杂的电磁环境中，例如工厂、实验室、高频设备周围，电子束控制是否会被EMC（电磁兼容）问题干扰？

会影响成像精度、扫描稳定性、甚至加工效果吗？

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